Transferpreis für Physiker aus Adlershof
Technologiestiftung Berlin prämiert Spektrometer
Berliner Zeitung, 02.07.2003 - Der erstmals ausgelobte Transferpreis "Wissenswerte" des Fördervereins der Technologiestiftung Berlin (TSB) geht an Laser-Forscher aus dem Wissenschaftpark Adlershof. Die Physiker Helmut Becker-Roß und Stefan Florek vom Institut für Spektrochemie und angewandte Spektroskopie sowie der Physiker Michael Okruss von der Gesellschaft zur Förderung angewandter Optik, Optoelektronik, Quantenelektronik und Spektroskopie erhielten den Preis am gestrigen Dienstagabend für die Entwicklung eines Messgeräts, das geringste Farbänderungen von Laserstrahlen erkennen kann. Eingesetzt wird das seit seiner Markteinführung im Jahr 2002 bereits mehr als siebzigmal verkaufte "Echelle-Spektrometer zur Charakterisierung von Laserstrahlung für die Mikrolithographie" vor allem von Chipherstellern. Das Spektrometer erlaubt eine äußerst genaue Belichtung von Siliziumscheiben, die die Herstellung von Chips entscheidend verbessert. Der Vorstandsvorsitzende der Technologiestiftung, Hanns-Jürgen Lichtfuß, war zufrieden mit der Entscheidung der Jury: "Damit haben wir unser Preisziel, eine innovative wissenschaftliche Entwicklung mit hohem Innovationspotenzial und großen Realisierungschancen zu fördern, voll und ganz erreicht."
Um den mit 10 000 Euro dotierten Transferpreis bewarben sich Wissenschaftler aus 42 Projekten - 35 aus Berliner und 7 aus brandenburgischen Forschungsstätten. Die Hälfte der Bewerbungen kam aus den Bereichen Medizintechnik (13) sowie Informations- und Kommunikationstechnik (8). Die übrigen Bewerbungen entfielen auf die Bereiche Produktions- und Umwelttechnik, Optoelektronik sowie Verkehrssystem- und Energietechnik. "Die Resonanz verdeutlicht, dass hier Innovationen entwickelt werden, die Zukunft für die Stadt generieren", sagte Lichtfuß. Mit dem Preis prämiert die TSB herausragende Forschungsergebnisse, die zu marktreifen Produkten weiterentwickelt wurden. (cpo.)
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Reinheitsgebot für Licht
Preis für Adlershofer Physiker
Der Tagesspiegel, 02.06.2003 - Berliner Physiker haben ein Gerät gebaut, um die Qualität von Laserstrahlen zu ermitteln. Dafür erhalten sie nun den "Transferpreis Wissenswerte" des Fördervereins Technologiestiftung in Höhe von 10 000 Euro. Die Arbeitsgruppe um Stefan Florek und Helmut Becker-Roß vom Institut für Spektrochemie und angewandte Spektroskopie in Adlershof hat ein Spektrometer entwickelt, das Wellenlängen von nur 100 Femtometern (milliardstel Mikrometer) unterscheiden kann - das ist nicht viel mehr als die Größe eines Atomkerns. Der Apparat heißt "Elias" (Emission Line Analyzing Specrometer) und misst nach Angaben von Florek genauer als jedes andere kommerziell erhältliche Spektrometer auf der Welt.
Ein zusätzliches Gütekriterium für Laserstrahlen ist die Stabilität. Der von einem Gitter gebeugte und von diversen Spiegeln umgelenkte Lichtstrahl zittert auf dem Weg zum Detektor fast gar nicht. "Umgerechnet auf einen Kilometer Lichtweg sind wir auf einen Millimeter exakt", sagt Florek. Damit eignet sich das Spektrometer, um die Qualität von Laserstrahlen messen zu können. Die stark gebündelten Lichtstrahlen werden unter anderem gebraucht, um mikroelektronische Bauteile immer kleiner und leistungsstärker machen zu können.
Um Millionen von Schaltfunktionen präzise übertragen zu können, ist höchste spektrale Reinheit der Laserstrahlen gefordert. In nur 18 Monaten gelang es den Berliner Spezialisten, ein marktreifes Gerät zu entwickeln, das auch der Atmosphärenforschung dienen kann. Mittlerweile sind über 70 Elias-Geräte verkauft und wichtige Lizenzverträge abgeschlossen.
Paul Janositz
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TSB-Preis für revolutionäre Lasermesstechnik
Adlershofer Physiker stabilisieren die Entwicklungsdynamik der Mikroelektronik
Wissenschaftler des Instituts für Spektrochemie und angewandte Spektroskopie (ISAS) entwickelten Verfahren zur Charakterisierung von Laserstrahlung für die Mikrolithographie
PE TSB 1. Juli 2003 - Ein Messverfahren von Adlershofer Wissenschaftlern revolutioniert die Mikroelektronik. Forscher des Instituts für Spektrochemie und angewandte Spektroskopie (ISAS) haben eine Technik zur Charakterisierung von Laserstrahlen entwickelt, mit der sich Computer-Chips wesentlich präziser als bisher produzieren lassen. Das Verfahren, das bereits in Zusammenarbeit mit einer Berliner Laser-Firma mit großem Erfolg in den USA vermarktet wird, erhielt am 1.7.2003 den "Transferpreis WissensWerte" des TSB Förderverein Technologiestiftung
Berlin e.V.
Mikroelektronische Bauelemente für die Informations- und Kommunikationstechnik werden mit Hilfe photolithographischer Verfahren hergestellt. Dabei wird der graphische Entwurf des Schaltkreises verkleinert auf dem mit lichtempfindlichen Lack präparierten Silizium-Wafer abgebildet. In mehreren Arbeitsschritten (Ätzen, Bedampfen, Sputtern) wird das Labyrinth der elektronischen Leiterbahnen mit seinen Millionen von Schaltfunktionen in den Wafer übertragen, der später in einzelne Chips zerteilt wird. Bei diesem Prozess ist höchste Reinheit und Präzision gefordert. Die Fortschritte der physikalischen Forschung führen dazu, dass sich die Strukturbreite der Leiterbahnen immer weiter verkleinern lässt. Dies hat zur Folge, dass sich die Anzahl der Schaltkreise, die auf einem Chip integriert werden können, bisher alle 18 Monate verdoppelte (sog. Moore'sches Gesetz).
Mitentscheidend für die minimale Strukturbreite ist die Bildschärfe, mit der die Schaltkreis-Grafik auf den Wafer zur Belichtung durch einen Excimer-Laser projiziert wird. Verlangt wird eine hohe spektrale Reinheit der Laser, die mittels spektrometischer Messtechniken sichergestellt wird. Hier setzt die Kompetenz der ISAS-Wissenschaftler an. Das Institut für Spektrochemie und angewandte Spektroskopie (ISAS) hat seinen Hauptsitz in Dortmund. Der Berliner Institutsteil am Wissenschaftsstandort Adlershof ging 1992 aus dem früheren Zentralinstitut für Optik und Spektroskopie der Akademie der Wissenschaften der DDR hervor.
Eine Arbeitsgruppe um die ISAS-Physiker Dr. Helmut Becker-Roß und Dr. Stefan Florek führt bereits seit längerer Zeit Grundlagenuntersuchungen zu Spektrometern-Geräten zur Ausmessung des Lichtspektrums - und deren Anwendung bei verschiedensten Methoden der Spektralanalyse durch. 1998 wurde zum Beispiel gemeinsam mit der ebenfalls in Adlershof ansässigen Gesellschaft zur Förderung angewandter Optik, Optoelektronik, Quantenelektronik und Spektroskopie e.V. (GOS) ein extrem hochauflösendes Spektrometer entwickelt, das von Wissenschaftlern der ETH Zürich in der Atmosphärenforschung eingesetzt wurde.
Die Arbeiten der ISAS-Forscher waren auch der Adlershofer Firma LTB Lasertechnik Berlin bekannt, die nach einer Lösung für das Problem der spektralen Charakterisierung von Lasern suchte. In einer beispiellos kurzen Entwicklungszeit von weniger als 18 Monaten wurde von ISAS, GOS und LTB das Konzept gemeinsam entwickelt und in ein marktreifes Gerät umgesetzt: das "Echelle-Spektrometer zur Charakterisierung von Laserstrahlung für die Mikrolithographie", das heute unter dem Markennamen ELIAS (Emission Line Analysing Spektrometer) vertrieben wird. Dabei musste neben der optischen auch die mechanische Präzision bis an die Grenzen des physikalisch-technisch Machbaren vorangetrieben werden.
Das Gerät wurde in der Elektronik-Branche auf Anhieb zum Erfolg. Mit dem größten Hersteller von Belichtungs-Lasern für die Chip-Industrie, der US-amerikanischen Cymer Inc. San Diego, schloss LTB im Jahr 2002 ein Abkommen zur Übernahme der Adlershofer Technologie. Inzwischen wurden über 70 ELIAS-Geräte weltweit verkauft.
Nach Einschätzung von Dr. Becker-Roß wird die ISAS-Messtechnik neben dem Produkt-Erfolg auch die weitere Entwicklung der Mikroelektronik fundamental beeinflussen. Durch die bessere Ausnutzung des aktuellen "Arbeitspferdes" der Mikrolithograhie, bei einer Wellenlänge von 193 Nanometern, kann der Übergang zur nächsten, noch kurzwelligeren Laser-Generation - dem 157-nm-Laser - um mehrere Jahre hinausgeschoben werden. Der Chip-Industrie werden auf diese Weise Milliarden-Investition erspart oder erst später fällig. "Auf diese Weise haben wir dazu beigetragen, dass das bisher ehern gültige Moore'sche Gesetz noch einige Jahre seine Gültigkeit behält", bemerkt ISAS-Forscher Becker-Roß nicht ohne Stolz.
Kontakt:
TSB Technologiestiftung Innovationszentrum Berlin
Frauke Nippel
Fasanenstraße 85, 10623 Berlin
fon: 030/ 46 302 -504, fax: -444,
e-Mail: nippel[at]technologiestiftung-berlin.de
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