Mit ELIAS zum Erfolg
Laserentwickler auf dem Vormarsch

 

Die Photonik in Adlershof weist hohe Wachstumsraten auf. Der Erfolg einer ganzen Reihe von Unternehmen hat daran maßgeblichen Anteil, wie ein Beispiel aus dem Bereich der Messgeräte-Herstellung zeigt.

ELIAS hat eine stattliche Größe, erscheint im dezenten Businessgrau und wirkt auf den ersten Blick etwas nüchtern. Wichtiger als sein Äußeres ist sein Innenleben. Zwei Jahre harte Entwicklungsarbeit stecken darin. ELIAS ist ein hoch­auflösendes Echelle Spektrometer. Es dient der spektralen Charakterisierung von schmalbandigen Lichtquellen für die Laserlithographie, den Excimerlasern. Das Gerät ist - noch - konkurrenzlos und nicht nur jenseits des großen Teiches heiß begehrt. "Wir beliefern neben der kalifornischen Firma Cymer Inc., dem Marktführer für Lithorgraphielaser, weitere Ausrüster für die Halbleiterindustrie in Europa und Asien", berichtet Matthias Scholz, Geschäftsführer der Adlershofer LTB Lasertechnik in Berlin GmbH.

Excimerlaser werden in der Halbleiterproduktion zur Be­lichtung der Waver benötigt - Basis der Chips für Handys, Personalcomputer oder Industrieroboter. Die Anforderungen an diese Bauteile steigen ständig. Immer mehr Informationen sollen auf immer kleineren Chips gespeichert werden. Deshalb muss sich auch die Qualität der Laser laufend verbessern, das heißt sie müssen schmalbandiger werden.

Dafür werden Messgeräte benötigt. Sie müssen die spektrale Reinheit einer solchen Lichtquelle im Femtometerbereich - das sind 10 -15 Meter - bestimmen können. Dafür ist ELIAS entwickelt worden.

Inzwischen konnte von der LTB GmbH auch der Wunsch der Industrie erfüllt werden, ELIAS für den Vakuum-UV-Bereich bei 157 Nanometern zur Verfügung zu stellen. In diesem Sommer werden die ersten Geräte ausgeliefert. Scholz’ Partner bei der Entwicklung ist das Institut für Spektrochemie und angewandte Spektroskopie (ISAS), das ebenfalls in Adlershof seinen Sitz hat. Dort arbeitet Stefan Florek, einer der Väter von ELIAS. Anfang November letzten Jahres ließ er die Fachwelt aufhorchen, als er die ersten Ergebnisse eines Prototyps vorstellte.

Für den eher zurückhaltenden Scholz und seine 30 Mitarbeiter ist ELIAS ein unternehmerischer Erfolg. Elf Jahre ist es her, als er gemeinsam mit drei Partnern den Sprung in die Selbständigkeit wagte und eine Lasertechnikfirma gründete. Der 50-jährige promovierte Physiker zählt zu den Pionieren des Wirtschaftsstandortes in Adlershof. Seit 1971 war er in der Akademie der Wissenschaften der DDR tätig, zunächst im Institut für Optik und Spektroskopie und später im Zentrum für wissenschaftlichen Gerätebau, wo er Erfahrungen in der Laserentwicklung sammelte.

1990, noch bevor feststand, dass die Akademie der Wissenschaften aufgelöst wird, nutzte er die Chance, etwas Eigenes aufzubauen. Um auf dem Lasermarkt Fuß zu fassen, waren Spezialprodukte und Ausdauer gefragt. Scholz’ Credo: "Man ist zum Erfolg nicht nur verurteilt, man muß ihn auch suchen." Teamarbeit ist für ihn das A und O. Und weil sein ganzes Herzblut am Beruf hängt, steht der Firmenchef täglich mindestens einen halben Tag selbst im Labor. "So verliert man den Praxisbezug nicht. Viele organisatorische Aufgaben las­sen sich ja auch delegieren.

“ Am Anfang der LTB Lasertechnik stand die Ent­wick­lung des kleinsten Stickstofflasers in der Welt. Da­neben werden Laserfluoreszenz-Messsysteme und Laserkomponenten für Excimerlaser entwickelt und gefertigt. Ein weiteres Standbein des Unternehmens ist die Meßtechnik für Laser. Hierzu gehört auch ELIAS. Gegenwärtig entwickelt LTB Lasertechnik ge­meinsam mit Wissenschaftlern vom Adlershofer Max-Born-Insti­tut ein Meßsystem zur Früherkennung von Hautkrebs, ein Projekt, das von der Technolo­gie­stiftung Berlin unterstützt wird.

 

Sylvia Nitschke

 

 

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