ELIAS III Echelle-Spektrometer – 20 fm FWHM Auflösung bei einer Wellenlänge von 193 nm
LTB Lasertechnik Berlin hat die ersten Geräte ihrer jüngsten Spektrometergeneration ELIAS III an mehrere Lithographielaser-Hersteller ausgeliefert.
ELIAS III kann eine minimale Linienbreite von 20 fm Halbwertsbreite bei einer Wellenlänge von 193 nm messen. Dies entspricht einer spektralen Auflösung von 10 Millionen. Um solch eine schmale Linienbreite messen zu können, ist es erforderlich, das Auflösungsvermögen bzw. die Systemfunktion des Spektrometers mit einem spektral wesentlich schmaleren Laser nachzuweisen. Deshalb hat LTB den europaweit ersten 193 nm-Laser “Indigo-DUV“ der Firma Coherent mit einer FWHM von 6 fm erworben. Da der Kauf eines solchen Lasers eine hohe Investition erfordert, bietet die LTB GmbH Interessenten die kommerzielle Nutzung des Lasers im firmeneigenen Applikationslabor an.
Die ELIAS III Serie wird mit einer spektralen Auflösung bei 193 nm von 20 fm FWHM (d. h. 150 MHz bzw. 0,005 cm-1) und 175 fm E95 angeboten. Zur Charakterisierung der spektralen Reinheit von Lithographielasern hat sich international die Definition durchgesetzt, die spektrale Breite zu vermessen, in der 95 % der Energie enthalten sind. Eine solche Messung ist nur dann möglich, wenn man mit einem sehr hohen Signal-Rausch-Verhältnis (typ. 20.000, > 40 dB) messen kann. Gegenüber Fabry-Perot-Spektrometern, die ohne weiteres Halbwertsbreiten im genannten Bereich messen können, ist es auch möglich, den Fußbereich und die spektrale Umgebung quantitativ zu analysieren.
ELIAS III ist das jüngste patentierte Modell in der Reihe höchstauflösender Spektrometer, die LTB in Zusammenarbeit mit dem Institut für Spektrochemie und angewandte Spektroskopie (ISAS) Berlin entwickelt hat.